ノヴァ・メジャリング・インストゥルメンツ社（以下NOVA ）は、世界最大手の半導体計測機器メーカとして、世界中の半導体工場にソリューションとサービスを提供しています。NOVAの薄膜計測、光学式CD計測、形状プロファイル計測システムは、90nmから最先端の45nm、32nmテクノロジー・ノードに至るまで、300 mm/200 mmのIC量産工場における計測とプロセスコントロールの複雑な問題に対応します。

NOVAのシステムは、分光反射計測と光波散乱計測を組み合わせ、複雑な積層膜中のCD、トレンチ深さ、フォトレジスト高さ、形状のみならずウェハ間、面内の厳密なコントロールを行うための各種パラメータを測定します。NOVAは、さまざまな計測ニーズに合わせ、各種の装置組み込み型（Integrated Metrology：IM）計測機器とスタンドアロン型（Stand-alone：SA）計測機器を提供しています。これらのNOVAハードウェアは、ハイエンドなデバイス製造に欠かせない2D/３D/In-Dieのアプリケーションに必要なフォレキシビリティと自動化の機能を併せ持つNOVA独自のアドバンストモデリングとアプリケーション開発ソフトウェアとで完成します。

NOVAは、長期的なカスタマー・サポートと継続的な技術革新を重視しており、世界各地に現地法人を構えています。ノヴァ・メジャリング・インストゥルメンツ株式会社は、NOVAの日本法人で、NOVA製品の販売、トレーニング、カスタマー・サポートを提供しています。

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