NovaScanスタンドアロン型プラットフォームは、偏光垂直入射分光・光波散乱計測技術を実装し、広いUV（紫外線）、IR（赤外線）スペクトル域に対応する最先端の計測ソリューションです。極めて高いフリート（ツール間）マッチングとスループットを誇るNovaScanスタンドアロン型プラットフォームは、32 nmに至るまで2D、3D、ダイ内の光学CD計測と形状プロファイル計測の厳しい条件に対応する計測ソリューションです。

• 32 nmの要件に対応するハイエンド計測機器


• レシピ調整やキャリブレーションを必要としない最高のフリート・マッチング


• 卓越したスループットと信頼性による低CoO


• NOVAのIMプラットフォームとの完全な互換性により、混合ソリューションが可能


• NovaMARSを使い、高度な2D、3D、ダイ内モデリングと計測が可能


• エッチ、リソグラフィ、CMP、CVDに対応する幅広い計測ソリューションを提供