NovaScan装置組み込み型プラットフォームは、偏光垂直入射分光・光波散乱計測技術を実装し、広いUV（紫外線）、IR（赤外線）スペクトル域に対応する最先端の計測ソリューションです。極めて高いフリート（ツール間）マッチングとスループットを誇るNovaScan装置組み込み型プラットフォームは、32 nmに至るまで2D、3D、ダイ内の光学CD計測と形状プロファイル計測の厳しい条件に対応する経済的な計測ソリューションです。

• 32nmまでAPCを実現するハイエンド計測機器


• レシピ調整やキャリブレーションを必要としない最高のフリート・マッチング


• 卓越したスループットと信頼性による低CoO


• NOVAのSAプラットフォームとの完全な互換性により、混合ソリューションが可能


• NovaMARSを使い、高度な2D、3D、ダイ内モデリングと計測が可能


• エッチ、リソグラフィ、CMPに対応する幅広い計測ソリューションを提供